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四氟化碳
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四氟化碳

【產品分類】:特種氣體

【產品名稱】:四氟化碳

【熔點】:-184℃

【沸點】:-128.1℃

【水溶性】:不溶于水



產品詳情

【外觀與形狀】:無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體。
【主要用途】:

1.用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,也用作激光氣體,用于低溫制冷劑、溶劑、潤滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。
2.是微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體,四氟甲烷高純氣及四氟甲烷高純氣、高純氧的混合氣,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽能電池生產、激光技術、低溫制冷、泄漏檢驗、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。
3.用作低溫制冷劑及集成電路的等離子干法蝕刻技術
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提供調試、維護、培訓等售后服務,保障用氣安全

【本文標簽】: 四氟化碳
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